製品一覧
ENTEGRIS
米国ENTEGRIS社 CMPスラリー
日本インテグリス合同会社のCMPスラリーに関する販売代理を行っております。 NIHON ENTEGRIS G.K. CMP slurry sales agency
SURFINE SERIES
サーファインシリーズはダイヤモンド等の超砥粒とそれらを用いたラッピング、ポリッシングスラリーです。お客様の工程に合わせたテーラーメードが特徴で、砥粒の粒度、濃度、溶媒の粘度、沈降性、液性など様々な材質、目的とするラフネスや除去レートに最適となる手段を提供いたします。
研磨・ポリッシング・ワイヤーソースラリー / Lapping Polishing Wire Saw Slurry
研磨砥粒 / Abrasive
WAFER RECLAIM SERVICE
サーフェイズではお客様がお持ちの各種結晶基板の仕上げ加工を賜ります。
せっかく準備された高価な基板であっても、クラックやソリ、粗さ、厚さのバラつき等がご理由で、目的とする次の工程へご利用しにくい場合など、当方で確認、検討の上、目的に応じたスペックへ調整させていただきますので、いつでもお問い合せください。
基板材料例 :サファイヤ / SiC / GaN / AlN / 各種ガラス / 各種多結晶基板